뉴파워프라즈마
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기업 개요
2026년 03월 기준
당사는 반도체 및 디스플레이(Solar 포함) 산업의 핵심공정인 박막공정 및 식각공정 장비에서 사용 중인 Remote Plasma Generator와 Plasma 발생 전원 공급 모듈을 제조하는 국내 최고의 핵심 부품 공급 업체입니다. 박막공정의 장비에 사용되는 RPG(Remote Plasma Generator)는 박막공정 진행 후 공정내 잔존하는 부산물에 대한 Plasma Cleaning을 실시하는 핵심 모듈이며, 또 다른 제품은 박막 공정이나 건식각 공정장비의 진공 방(Vacuum Chamber)에 가스를 공급하여 Plasma를 발생하는데 필요한 전원을 공급하는 모듈(RF Generator 및 Matcher)입니다.
대표이사
양재영
설립일자
1999년 10월 07일
법인구분
코스닥
산업 분류
반도체 제조용 기계 제조업
법인 등록번호
11011-1784952
사업자 등록번호
212-81-44110
전화번호
031-612-7600
팩스번호
031-612-7699
홈페이지
newpower.co.kr
회사 주소
경기도 수원시 권선구 산업로155번길 214 (주)뉴파워프라즈마
제품 및 서비스
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